超純水監(jiān)測儀對實驗室純水在線監(jiān)測都采用同一種基本原理，是純水經(jīng)過超長波長的紫外光燈會制造氧化有機物，而在有機碳轉(zhuǎn)化為二氧化碳時會令水的電導率有效提升，而總有機碳的參數(shù)就可從電導率的轉(zhuǎn)變進行丈量。會保證水中總有機碳在實驗要求下TOC含量已經(jīng)達到域值。因此，不同種類的總有機碳監(jiān)測在實驗室純水設備中精密而昂貴的，而且體積較大，不易于實驗室純水系統(tǒng)。

　　而其它小型實驗室超純水機對有機碳監(jiān)測都采用旁路測試。它們在每一段預定時間內(nèi)把純水從旁路引到紫外光反應盒內(nèi)，待水中的有機物氧化成二氧化碳。由二氧化碳產(chǎn)生的電阻率差異在反應盒內(nèi)或另一外置的電阻表丈量。相反，如選用旁路的工業(yè)總有機碳監(jiān)測系統(tǒng)，就不能達到理想的效果。另外，用旁路的總有機碳監(jiān)測亦需時間將樣本從純水管道引入反應盒以及完成氧化過程后，總有機碳的數(shù)值才能顯示到面板上。也就是說，如果純水中的有機物有任何變化。

　　超純水監(jiān)測儀雜質(zhì)含量的監(jiān)測：理想的情況下，監(jiān)控所有潛在的重要雜質(zhì)，但不知道潛在的雜質(zhì)有哪些，因而要定期監(jiān)測所有這些雜質(zhì)是不實際的。要控制水中的雜質(zhì)含量，需要確定被監(jiān)視指標的特性或需要符合的標準：對不同化合物敏感的，可以非常迅速地被監(jiān)測的，可以連續(xù)被監(jiān)測的，可以被監(jiān)測并且具有足夠的靈敏度和準確度的。

　　超純水中有機雜質(zhì)對實驗的影響很大，因而，總有機碳（TOC）和電阻率一樣，成為水純度的重要指標。TOC是有機污染物整體含量一個很好的指標。就其本身而言，現(xiàn)在還沒有，以后也不會有比TOC更好的指標。有機化合物種類和含量千差萬別，與TOC值的對應關系比較不固定，因此，高準確度的TOC監(jiān)測意義不大；而連續(xù)且不會錯過有機雜顏含量變化的TOC在線監(jiān)測尤為重要，TOC的變化可能毀掉一次分析實驗。